• 名称Aligner光刻机12016042
• 资产编号12016042
• 型号MA6 -BSA
• 规格
• 产地
• 厂家德国Karl Suss公司
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期2012-11-06
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类光刻
• 联系人孙颖
• 联系电话87951496，13858114028
• 联系邮箱suny@zju.edu.cn
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

"技术指标：
1.曝光波长：365nm
2.晶圆尺寸：2英寸、4英寸及不规则形状小晶圆
3.接触方式：真空接触，硬接触，软接触，接近式接触
4.对准模式：正面和背面两种对准方式
5.最小线宽： 0.7μm（真空接触方式）
6.套刻精度：1μm"

主要功能及特色

MA6光刻机可以进行双面光刻对准（最小线宽0.7μm）。适用于四英寸以下硅片、三五族易碎化合物、不规则基片、透明基片以及碎片的微加工。

设备使用相关说明

收费标准：
校内：
【1】自行操作400元/小时。
【2】委托加工660元/小时。
【3】设备培训费200元/人/次（机时费另算）。
【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。
【5】自备光刻掩模版。
【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。

校外：
【1】自行操作800元/小时。
【2】委托加工1320元/小时。【3】设备培训费400元/人/次（机时费另算）。
【4】不足30分钟以30分钟计算，30分钟以上以15分钟为基本计时单位。
【5】自备光刻掩模版。
【说明】收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。

（浙江大学收费管理小组2020年第2次会议）

备注

预约前需按照微纳加工中心要求注册、培训及考核。首次使用设备前请联系负责老师，培训考核通过后自行预约使用。