• 名称EBL电子束直写设备19017898
• 资产编号19017898
• 型号VOYAGER
• 规格
• 产地德国
• 厂家RAITH
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类光刻
• 联系人孙颖
• 联系电话13858114028
• 联系邮箱suny@zju.edu.cn
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

电子枪加速电压50kV。
束电流范围5pA~40nA。
最小束斑尺寸2.5nm。
图形发生器扫描频率50MHz，20bit分辨率，最小步距0.5nm。
写场范围：0.5μm~500μm连续可调且无子写场 。
束流稳定性 <0.2% / h。束位置稳定性 <120nm / 8h。
最小线宽验收 ≤ 8nm，光栅周期≤ 40nm。
拼接精度：100μm写场≤20nm；500μm写场 ≤30nm。
套刻精度：100μm写场≤20nm；500μm写场≤25nm。
移动工作台模式：traxx和periodixx可实现零拼接曝光，用于直写长路径波导、光子晶体等重复性图案，无拼接误差。
自动聚焦和消象散设置；一键式预置高分辨或高产出模式。
样品尺寸：4英寸圆片，向下兼容。5英寸掩模板。

主要功能及特色

主要功能：光学光刻掩模板的制备；各种碎片、50 mm及100 mm基片微纳米图案的直写，最小线宽<10 nm。
特色：快速——直观好用的Windows7操作环境；自动聚焦和消象散设置；一键式预置高分辨或高产出模式；功能全面的NanoSuite软件，包括邻近效应修正和GDSII CAD图形编辑；写场大至500 μm，实时进行动态修正；新研制的静电偏转器；50 MHz图形发生器；曝光效率高至1cm2/h（占空比50%）。
应用范围：Voyager是一款高性价比采用创新的eWrite体系结构的电子束光刻设备，采用50kV eWrite 电子束技术，应用于5英寸以下掩模版、4英寸以下wafer的高速直写，适合衍射光学元件、防伪元件的加工及化合物半导体器件的高速加工。

样本检测注意事项

样品尺寸：4英寸圆片，向下兼容。5英寸掩模板。

设备使用相关说明

校内：
【1】自行操作机时费1000元/小时。
【2】委托加工机时费1200元/小时。
【3】设备培训费100元/小时（含匀胶/导图/校准/写图/显影/显微观察时间）（机时费另算）。
【4】起步时间30分钟。30分钟以上15分钟为基本计时单位。
【5】耗材（电子束胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。

校外：
【1】自行操作1500元/小时。
【2】委托加工1800元/小时。
【3】设备培训费200元/小时（含匀胶/导图/校准/写图/显影/显微观察时间）（机时费另算）。
【4】起步时间30分钟。30分钟以上15分钟为基本计时单位。
【5】耗材（电子束胶、显影&定影液等）除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。

【样品要求】1.导电性不好的样品(如石英、玻璃、SiO2等)加工精度不保证。如需导电胶单独计费。2.样品尺寸：4英寸以下圆形样品；方形或矩形样品；5英寸以下光刻版。3.混合套刻标记需清晰，符合规范。

【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有其他特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。

备注

预约前需按照微纳加工中心要求注册、培训及考核。首次使用设备前请联系负责老师，培训考核通过后自行预约使用。