• 名称Sputter磁控溅射系统 新平台19002923
• 资产编号19002923
• 型号DISCOVERY-635
• 规格
• 产地
• 厂家美国DENTON
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类镀膜
• 联系人孙家宝
• 联系电话18158517166
• 联系邮箱
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

沉积各种金属、氧化物（目前可做：银、铝、钛、镍、铬、锌、铜、钨、锗、氮化钛、二氧化硅、ITO）
样品尺寸：6英寸向下兼容
溅射源：
3个3英寸标准磁控靶枪
1个3英寸磁性增强靶枪 ---可用于溅射磁性材料
溅射电源：
1套1200W直流电源
2套600W射频电源
衬底加热：最高800℃
膜厚检测：Inficon 晶振

样本检测注意事项

校内：
【1】自行操作400元/小时。
【2】委托加工600元/小时。
【3】设备培训200元/人/次（机时费另算）。
【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。
【5】靶材自带或由平台提供费用另计。
【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。

校外：
【1】自行操作650元/小时。
【2】委托加工850元/小时。
【3】设备培训400元/人/次（机时费另算）。
【4】起步时间30分钟。15分钟为基本计时单位。
【5】靶材自带或由平台提供费用另计。
【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。

备注

预约前需按照微纳加工中心要求注册、培训及考核。首次使用设备前请联系负责老师，培训考核通过后自行预约使用。