• 名称真空镀膜机（热蒸发系统）
• 资产编号0507762Q
• 型号DM-300B
• 规格
• 产地
• 厂家
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类镀膜
• 联系人孙颖
• 联系电话87951496，13858114028
• 联系邮箱suny@zju.edu.cn
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

"技术指标：
1.DM-300B镀膜室（内径×高）φ300mm×450mm，最大可镀工件直径φ180mm。一次最多可装6个2英寸硅衬底或者小于2英寸的不规则样品。
2. 可蒸镀金属薄膜种类：Al等。
3. 设置2组电极，可以完成最多2层金属薄膜的沉积。
4.抽气速度：60min由ATM到1.0×10-3Pa。
4.极限真空度：1×10-4Pa。
"

主要功能及特色

可沉积金属材料薄膜。

设备使用相关说明

收费标准：
校内：自行操作：150元/小时。 委托加工：250元/小时。 贵金属单独结算。 15分钟为基本计时单位。 设备培训费200元/人/次。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。
校外：自行操作：300元/小时。 委托加工：500元/小时。 贵金属单独结算。 15分钟为基本计时单位。 设备培训费400元/人/次。说明：1.收费标准为不含税价格。2. 收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。
（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议）