• 名称RTP 12008198 快速退火炉
• 资产编号12008198
• 型号RTP-VT100M
• 规格
• 产地
• 厂家台湾技鼎股份有限公司
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类热处理
• 联系人--
• 联系电话18989499499
• 联系邮箱
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

"技术指标：
1.样品尺寸：4英寸1片
2.温度使用范围：~1000℃
3.升温速率：晶圆最高50℃/秒，碳化硅载盘最高15℃/秒
4.温度均匀性：±1%
5.可编程温度曲线存储500条以上，每条曲线可包括50段以上，温度设定范围100℃-1000℃;100-500℃，最大退火时间10mins；500-800℃，最大退火时间3mins；800-1000℃，最大退火时间1min
6.实时温度曲线，显示及存储功能，存储实验曲线500条以上。
7. 退火环境：可以在真空或常压（氮气、氧气）环境下退火。

主要功能及特色

可实现应力释放、合金化、注入激活等多种功能。

设备使用相关说明

校内：自行操作：200元/小时。 委托加工：300元/小时。 15分钟为最小计时单位。 设备培训费100元/人/次（机时费另算）。说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。

校外：自行操作：400元/小时。 委托加工：600元/小时。 15分钟为最小计时单位。 设备培训费200元/人/次（机时费另算）。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。
（浙江大学收费管理小组2018年第4次会议）