• 名称Sputter超高真空复合溅射镀膜系统 旧平台12021619
• 资产编号12021619
• 型号JSS-450-1
• 规格
• 产地
• 厂家沈阳腾鳌真空技术有限公司
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类镀膜
• 联系人--
• 联系电话18989499499
• 联系邮箱
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

"规格：6.7X10-5Pa
技术指标：
1、适用于6英寸单片、4英寸单片、2英寸多片晶片
2、溅射方向：向上溅射；
3、载片台具有温度控制系统，温度连续可调，基片加热最高温度400℃。载片台可以加转动，转速连续可调;
5、射频功率：500W
6、直流功率：700W
7、阴极靶5个，每个靶尺寸3英寸，其中有1个磁性靶用于磁性材料溅射
8、3路外部气体输送装置，内含MFC。适合下述气体使用：Ar、O2、N2；
10、高真空室采用分子泵加干泵组合，工作室在60分钟以内真空度 < 8×10-6 Torr。极限真空好于5×10-7 Torr； 我们的 6.7×10-5Pa

"

主要功能及特色

"配有离子束清洁与刻蚀系统，用于各种薄膜材料的溅射沉积。"

设备使用相关说明

收费标准：
校内：自行操作：200元/小时。 委托加工：300元/小时。 15分钟为基本计时单位。 贵金属靶材自带，或由平台提供费用另计。 设备培训费200元/人/次（机时费另算）。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。

校外：自行操作：400元/小时。 委托加工：600元/小时。 15分钟为基本计时单位。 贵金属靶材自带，或由平台提供费用另计。 设备培训费400元/人/次（机时费另算）。说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议）