• 名称ICP 感应耦合等离子干法刻蚀系统19022481
• 资产编号19022481
• 型号英国 OXFORD, Plasmapro100 Cobra 180
• 规格
• 产地
• 厂家
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位浙江大学
• 使用性质科研
• 所属分类刻蚀
• 联系人陈长鸿
• 联系电话18259127797
• 联系邮箱chchen@zju.edu.cn
• 放置地点微纳加工中心

主要规格及技术指标

刻蚀材料： 浅硅刻蚀，氧化硅、Si3N4，有机物，石墨烯等
RF射频源： 600W, 13.56MHz
ICP离子源： 3000W, 13.56MHz
极限真空： 3E-6 Torr
样品尺寸： 4英寸向下兼容

反应气体：
He、O2、Ar、CHF3、C4F8、SF6、HBr、BCl3、H2、CH4

设备使用相关说明

校内： 自行操作：机时费500元/小时。 委托加工：700元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费200元/人/次。 说明：收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。
校外： 自行操作：机时费1000元/小时。 委托加工：1400元/小时。 15分钟为基本计时单元。 设备培训费400元/人/次。 说明：1.收费标准为不含税价格。2.收费标准仅针对正常单项工艺，如有工艺流程设计或其他特殊加工要求，按标准工艺折算机时计收。 （浙江大学收费管理小组2018年第4次会议）