罗建红副校长莅临浙江大学微纳加工中心揭牌启用仪式

2018年12月26日上午，浙江大学微纳加工中心举行了揭牌仪式，正式启用。副校长罗建红，中心教授委员会委员、信电学院常务副院长杨建义共同为中心揭牌。中心教授委员会委员、设备处、人才办、总务处、信息学部、信电学院等各部门的领导专家出席了揭牌仪式。

    揭牌前，中心主任程志渊简要介绍了中心的总体情况及超净实验室的建设情况，副主任周强介绍了中心厂务及安全防护设施，求是特聘研究员孙一军介绍了实验室科研设备加工能力及服务情况。

    罗建红副校长现场详细查看了中心的厂务系统、中央控制及安全系统、参观了超净实验室及工艺设备，听取了建设情况汇报，对中心的建设给予了肯定，强调先进的微纳加工实验平台在我校多个相关学科的科研乃至国家战略性信息技术研发中的重要性，并要求中心切实做好服务工作，严格执行管理规范，落实各项安全措施，为学校相关学科承担各类国家重大研究计划和科研任务提供有力支撑。

    微纳加工中心是学校开展与促进微纳科技及多学科交叉研究的重要创新平台，中心拥有实验室总面积约1200平米，其中百级洁净区200平米，千级洁净区800平米，结合校内信电、光电、电气、物理、材料、机械等相关学科的需求特点，建设了基于多种半导体衬底材料的微米/纳米图形制备、薄膜沉积/生长、干法及湿法刻蚀、表征测试及封装的体系化、模块化工艺链，适用于微纳电子器件、光电子器件、量子器件、功率器件、MEMS、二维材料器件、柔性/可穿戴电子器件、集成电路芯片等多种工艺的微纳加工。  

    目前中心已基本完成第一批工艺设备的安装调试，完成了两场集中培训，后续将按需举行相关培训，面向校内外用户开放使用。中心位于玉泉校区微电子楼，现有大型实验设备28台。中心致力于为校内外科研人员提供优质、高效和专业的微纳加工工艺服务。平台网址：http://nano.zju.edu.cn(校内)，联系电话：0571-87953292，欢迎大家预约使用。

浙江大学微纳加工中心

2018年12月26日

浙江大学 发布时间:  2019/1/2 8:42:00 浏览量:  8183