★★★设备培训联系方式★★★

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图型及辅助、压焊设备：孙颖  13858114028 suny@zju.edu.cn

（电子束直写、激光直写、紫外双面光刻、一体机、匀胶机、热板、

HMDS真空烘箱、显影台、等离子清洗机、FC150倒扣銲）

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刻蚀、化学成膜设备：陈长鸿   18259127797 chchen@zju.edu.cn

（ICP深硅刻蚀机、ICP感应耦合等离子刻蚀机、RIE刻蚀机、

PECVD、LPCVD、红外退火、AES）

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物理成膜设备：孙家宝 18158517166 jbsun@zju.edu.cn

（磁控溅射、电子束蒸发）

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RTP、ALD、高温氧化炉：王妹芳18989499499 sic109@zju.edu.cn

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测试类设备：刘艳华13735880026 liuyh116@zju.edu.cn

（椭偏仪、AFM）

测试类设备：谢石建13616547056 sjxie@zju.edu.cn

（SEM、台阶仪）

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清洗类设备：刘艳华13735880026 liuyh116@zju.edu.cn

（无机清洗、RCA清洗、BOE腐蚀、有机清洗、炉管清洗）

浙江大学 发布时间:  2020/11/24 13:15:00 浏览量:  14553